HBM Human Body Model:人体モデル 【図解】
英語:Human Body Model 中国語:人体模型
人体に蓄積した電荷が人体から電子部品に放電する現象を模擬するもので、最も一般的なESD試験として知られている。
この現象は、例えば人が靴下を履いてカーペット上を歩き回って身体に電荷を蓄積した状態で、IC/電子部品に接触した際に起きる。
HBMから発生するESDの破壊モードは接合の破壊、金属(イオン)の侵入、配線層などの金属層の溶融、局部的な絶縁破壊、ゲート酸化膜の破壊などである。
HBM試験は、100pFのコンデンサと1MΩの充電用抵抗に直列に接続した高電圧電源を用いる。コンデンサを満充電の状態にしてからスイッチを使って高電圧電源と1MΩ抵抗から切り離し、1.5kΩの放電用抵抗を介してDUT(Device under Test、試験対象デバイス)に接続する(図1)。高電圧電源の電圧は、試験レベルに応じて0.5~1.5kVの範囲で設定する。