ESDとは? Electrostatic Discharge 【図解】
静電気の(Electrostatic)放電(Discharge)の事をESDと略して呼んでいます。
一般的に工場等では静電対策の事をESD対策と呼んでいます。
中国語では”静电释放”の意味です。
ESD 静電気対策
基本的なESD対策は下記のとおり。
①静電気を発生させない。→発生しても静電気の量を極力、低く抑える。
②静電気を帯電させない。→発生してしまった静電気をできるだけ速く漏洩させ、滞留させない。
③静電気を放電させない。→特定の場所で火花放電させない。
④シールドする。→帯電体が接近したり、ESDが発生してもデバイスが影響を受けないようにシールドする。
静電気対策の基本ルール
具体的な静電気対策の進め方は下記のとおりです。
①作業環境の整備→静電気に敏感な部品は、静電気対策区域で取り扱う。
②人体の除電→静電気に敏感な部品は人体の帯電を除去して行う。
③運搬、保管時の除電→静電気に敏感な部品の保管、輸送は電荷の容器類の整備たまらない状況下で行う。
④作業マニュアル等→作業者の教育とメンテナンスのルール化をソフト面の整備行う。
静電気対策の手順
①静電気に敏感な部品のリストの作成
②部品の静電気敏感度のチェツクとランク付け
③ESD静電気対策区域の指定
④静電気対策区域内の静電気対策方法の決定
⑤作業マニュアルの作成
⑥作業者の教育、訓練
⑦静電気対策品の定期点検
作業環境の静電対策
湿度管理 (不導体の帯電防止策)
相対湿度が低いと電荷の拡散が減少し、静電気の発生が多くなる。冬場は乾燥するので加湿器 などにより相対湿度を55±25%に管理している。
(湿度管理により帯電電圧は約1/10に減少する)
イオンブロアー(除電器)
静電気の発生を抑えるのが困難な工程は局所的な除電対策としてイオンブロアーを使用。 イオンブロアーはエリアに存在する静電気を中和する為に能動的にイオンを発生させる装置です。
静電防止床
作業工程全てに帯電防止床材を設置し、静電気によりトラブルを防止。
表面電気抵抗値は1×107MΩ以下と低く、定期的に静電防止床材の測定を実施している。
ESD 静電特別エリアの指定
レーザーダイオードの破壊を防止する為、調整工程はESD静電特別エリアとして指定し 関係者以外の立ち入りを拒否し、徹底した静電対策を実施。
アース端子の取り付け
計測器、治具等のアース線が確実に接続され、一目で接続状態がわかるように図のようなステン レス板の接続板を作成してアース線を固定。
*ESD静電気対策の詳細については下記の記事を参照、願います。